Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0112U004011, ( 0213U001131  ) Науково-дослідна робота Назва роботи Розроблення новітніх методів механічної та елекростатичної нанозондової літографії і наноманіпуляцій для потреб наноелектроніки і нанобіосенсорики Керівник роботи Литвин Петро Мар'янович, Дата реєстрації 29-01-2013 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України Опис роботи Метою проекту є розробка і розвиток альтернативних малозатратних методів нанолітографії та наноманіпуляцій для потреб новітніх технологій виготовлення наноелектронних, молекулярних, гібридних та наномеханічних приладів і сенсорних систем на основі методів скануючої зондової літографії. Додано в НРАТ 2024-12-10 Закрити