Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 0112U004115, ( 0212U005686  ) Науково-дослідна робота Назва роботи "Розроблення методів інтерференційної нанолітографії для формування рельєфно-фазових наноструктур з використанням вакуумних фоторезистів" етап 3: "Розробка та дослідження інтерференційної фотолітографії напівпровідникових пластин" Керівник роботи Індутний Іван Захарович, Доктор фізико-математичних наук Дата реєстрації 27-04-2012 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України Опис роботи Дослідження та розробка методу інтерференційної літографії з використанням ефекту фототравлення відпалених плівок халькогенідів, формування методом інтерференційного фототравлення високочастотних рельєфно-фазових граток в шарах вакуумного халькогенідного фоторезиста та періодичних одновимірних і двовимірних наноструктур на поверхні кремнієвих пластин Додано в НРАТ 2024-12-10 Закрити
НДДКР РК
"Розроблення методів інтерференційної нанолітографії для формування рельєфно-фазових наноструктур з використанням вакуумних фоторезистів" етап 3: "Розробка та дослідження інтерференційної фотолітографії напівпровідникових пластин"
Керівник: Індутний Іван Захарович. "Розроблення методів інтерференційної нанолітографії для формування рельєфно-фазових наноструктур з використанням вакуумних фоторезистів" етап 3: "Розробка та дослідження інтерференційної фотолітографії напівпровідникових пластин". Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України. № 0112U004115
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-16


Роздрукувати цю сторінку