Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 0112U005381, ( 0212U001977  0213U000606  ) Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка нових технологічних прийомів формування і контролю мікро- і наноструктур на основі використання високолокальних електромагнітних полів, що створюються методами скануючої мікрохвильової мікроскопії Керівник роботи Сліпченко Микола Іванович, Дата реєстрації 26-07-2012 Організація виконавець Харківський національний університет радіоелектроніки Опис роботи Розробка нових технологічних прийомів формування мікро- та наноструктур сучасної мікро- і наноелектроніки із заданим розподілом електрофізичних параметрів за допомогою високолокальних і високоенергетичних електромагнітних полів мікрохвильового діапазону з наступним контролем результатів методом скануючої мікрохвильової мікроскопії Додано в НРАТ 2024-12-10 Закрити
НДДКР РК
Розробка нових технологічних прийомів формування і контролю мікро- і наноструктур на основі використання високолокальних електромагнітних полів, що створюються методами скануючої мікрохвильової мікроскопії
Керівник: Сліпченко Микола Іванович. Розробка нових технологічних прийомів формування і контролю мікро- і наноструктур на основі використання високолокальних електромагнітних полів, що створюються методами скануючої мікрохвильової мікроскопії. Харківський національний університет радіоелектроніки. № 0112U005381
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-16


Роздрукувати цю сторінку