Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 0112U006585, ( 0214U008850  ) Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка технології та дослідження фізичних процесів при рості НД кремнію в нанопористих діелектричних матрицях Керівник роботи Дружинін Анатолій Олександрович, Дата реєстрації 12-09-2012 Організація виконавець Національний університет "Львівська політехніка" Опис роботи Метою роботи є створення технологічних засад вирощування регулярних нанодротин SiGe та Si з парогазової фази методами самоорганізації Додано в НРАТ 2024-12-10 Закрити
НДДКР РК
Розробка технології та дослідження фізичних процесів при рості НД кремнію в нанопористих діелектричних матрицях
Керівник: Дружинін Анатолій Олександрович. Розробка технології та дослідження фізичних процесів при рості НД кремнію в нанопористих діелектричних матрицях. Національний університет "Львівська політехніка". № 0112U006585
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-25


Роздрукувати цю сторінку