Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0113U001490, ( 0214U001398  ) Науково-дослідна робота Назва роботи Розроблення плазмової технології осадження наноструктурованих шарів нітридів алюмінію та бору для захисту поверхні НВЧ приладів Керівник роботи Заяць Микола Сергійович, Дата реєстрації 21-02-2013 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України Опис роботи Розробка базових плазмових низькотемпературних технологій виготовлення наноструктурованих шарів нітридів алюмінію та бору для силової, високотемпературної, високочастотної та радіаційно стійкої електроніки з метою захисту поверхні активних елементів НВЧ приладів Додано в НРАТ 2024-12-10 Закрити