Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 0113U005528, Науково-дослідна робота Назва роботи Формування термічно стабільних нанорозмірних плівок силіциду NiSi на монокристалічному кремнії Керівник роботи Макогон Юрій Миколайович, Дата реєстрації 11-07-2013 Організація виконавець Національний технічний університет України "Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського" Опис роботи Виявлення впливу легуючих елементів на формування термічно стабільних нанорозмірних плівок NiSi Додано в НРАТ 2024-12-10 Закрити
НДДКР РК
Формування термічно стабільних нанорозмірних плівок силіциду NiSi на монокристалічному кремнії
Керівник: Макогон Юрій Миколайович. Формування термічно стабільних нанорозмірних плівок силіциду NiSi на монокристалічному кремнії. Національний технічний університет України "Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського". № 0113U005528
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-17


Роздрукувати цю сторінку