Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 0113U006117, ( 0214U001196  ) Науково-дослідна робота Назва роботи Створення на базі установки MOCVD D-180LDM технологічної дільниці для випробування нанотехнологій виробництва напівпровідникових гетероепітаксійних структур на основі твердих розчинів А3В5 Керівник роботи Парфенюк Павло Васильович, Дата реєстрації 29-08-2013 Організація виконавець Львівська філія науково-виробничого концерну "Наука" Опис роботи Створення технологічної дільниці газофазної епітаксії на основі металоорганічних та гідридних сполук на базі установки MOCVD D-180LDM для випробування нанотехнологій формування квантово-розмірних та нанорозмірних об'єктів, що застосовуються для виробництва приладових гетероепітаксійних структур на основі твердих розчинів А3В5. Додано в НРАТ 2024-12-10 Закрити
НДДКР РК
Керівник: Парфенюк Павло Васильович. Створення на базі установки MOCVD D-180LDM технологічної дільниці для випробування нанотехнологій виробництва напівпровідникових гетероепітаксійних структур на основі твердих розчинів А3В5. Львівська філія науково-виробничого концерну "Наука". № 0113U006117
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-16