Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0114U000677, ( 0215U003062  0216U003589  0217U000224  0218U003442  ) Науково-дослідна робота Назва роботи Розроблення і створення технологій вирощування наноструктурованих карбонованих матеріалів кремнію та карбіду кремнію для опто- та мікроелектронних приладів Керівник роботи Лисенко Володимир Сергійович, Дата реєстрації 01-04-2014 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України Опис роботи Розробка методів синтезу нових тонкоплівкових матеріалів на основі плівок SiC(x)O(y) для використання в сенсорних технологіях. Додано в НРАТ 2024-12-10 Закрити