Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0114U004124, ( 0215U000163  0216U005826  ) Науково-дослідна робота Назва роботи Формування і властивості гетероструктур Si/SiO2/Si з вбудованими в діелектрик нанокластерами кремнію: експеримент, моделювання, вплив вуглецю Керівник роботи Литовченко Володимир Григорович, Дата реєстрації 22-05-2014 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України Опис роботи Формування кремнійових структур з вбудованими діелектричними шарами SiO2 і нанокластерами кремнію з використанням іонної імплантації кисню, вуглецю та азоту; проведення досліджень механізмів формування шарів в залежності від дози імплантації вуглецю Додано в НРАТ 2024-12-10 Закрити