Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0116U002856, ( 0216U002891  ) Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка технології виготовлення сенсорних чіпів з підвищеною чутливістю та покращеними фізико - механічними характеристиками для оптичних сенсорів на основі поверхневого плазмонного резонансу (ППР) Керівник роботи Індутний Іван Захарович, Доктор фізико-математичних наук Дата реєстрації 26-04-2016 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України Опис роботи Розробка та оптимізація технологічних процесів інтерференційної фотолітографії з використанням вакуумних фоторезистів для виготовлення сенсорних чіпів з підвищеною чутливістю та покращеними характеристиками для оптичних сенсорів на основі поверхневого плазмонного резонансу (ППР). Буде виготовлено та випробувано експериментальну партію структурованих сенсорних чіпів та дослідний зразок ППР рефрактометра. Додано в НРАТ 2024-12-10 Закрити