Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0116U005846, ( 0220U101982  ) Науково-дослідна робота Назва роботи Дослідження процесів у протонно-променевій літографії виготовлення тривимірних структур для фабрикації елементів рентгенівської оптики. Керівник роботи Пономарьов Олександр Георгійович, Доктор фізико-математичних наук Дата реєстрації 29-12-2016 Організація виконавець Інститут прикладної фізики НАН України Опис роботи Дослідження формування пучка протонів в зондоформуючій системі високої роздільної здатності нового типу, розробка процедури отримання первинних малорозмірних тривимірних структур в резистивних матеріалах для фабрикації елементів рентгенівської оптики. Додано в НРАТ 2024-12-10 Закрити