Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 0116U006302, ( 0217U001660  ) Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка та дослідження плазмового джерела нового типу для однорідної обробки великих поверхонь на основі геліконного розряду з лінійною збуджуючою системою Керівник роботи Вірко Валерій Федорович, Дата реєстрації 24-05-2016 Організація виконавець Інститут ядерних досліджень НАН України Опис роботи Дослідження нового різновиду геліконного розряду, здатного створювати плазму, концентрація якої є однорідною вздовж однієї координати (лінії). Додано в НРАТ 2024-12-10 Закрити
НДДКР РК
Розробка та дослідження плазмового джерела нового типу для однорідної обробки великих поверхонь на основі геліконного розряду з лінійною збуджуючою системою
Керівник: Вірко Валерій Федорович. Розробка та дослідження плазмового джерела нового типу для однорідної обробки великих поверхонь на основі геліконного розряду з лінійною збуджуючою системою. Інститут ядерних досліджень НАН України. № 0116U006302
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-16


Роздрукувати цю сторінку