Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0117U004875, ( 0219U100595  0219U100597  ) Науково-дослідна робота Назва роботи Технологія вакуумно-плазмового формування конструкційних елементів для наноелектроніки Керівник роботи Бажин Анатолій Іванович, Доктор фізико-математичних наук Дата реєстрації 06-03-2017 Організація виконавець Науковий фiзико-технологiчний центр Мiнiстерства освiти i науки та НАН України Опис роботи Технологія формування вакуумно-плазмовими методами конструкційних елементів для наноелектроніки на основі кластерної вакуумно-плазмової установки. Визначення фізико-технічних характеристик експериментально отриманих наноструктурованих елементів. Адаптація технології до промислових умов функціонування. Додано в НРАТ 2024-12-10 Закрити