Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0117U006410, ( 0218U002098  ) Науково-дослідна робота Назва роботи Фотохімічне субнанополірування поверхні діелектриків за допомогою оптичного ближнього поля Керівник роботи Григорук Валерій Іванович, Дата реєстрації 05-10-2017 Організація виконавець Київський національний університет імені Тараса Шевченка Опис роботи Розробка нової методики субнанополірування поверхні діелектриків (зокрема кварцу) за допомого оптичного ближнього поля та поверхневої еванесцентної хвилі. Очікується зменшення шорсткості поверхні діелектриків від десятків та одиниць нанометрів до одиниць ангстрем. Додано в НРАТ 2024-12-10 Закрити