Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0117U007245, ( 0218U003670  ) Науково-дослідна робота Назва роботи Технологія синтезу кремнієвих мікро- та наноструктур з високим аспектним відношенням Керівник роботи Коваль Вікторія Михайлівна, Дата реєстрації 02-11-2017 Організація виконавець Національний технічний університет України "Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського" Опис роботи Розробка технології синтезу кремнієвих мікро- та наноструктур з високим аспектним відношенням та дослідження їх структурних та оптичних властивостей Додано в НРАТ 2024-12-10 Закрити