Знайдено документів: 1
Керівник: Єрохов Валерій Юрійович. Двовимірні періодичні наноструктури кремнію для МЕМС-сумісних інтегрованих мікроперетворювачів.
Національний університет "Львівська політехніка". № 0118U000271
Знайдено документів: 1
Оновлено: 2026-03-14
