Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0118U006101, ( 0219U000086  ) Науково-дослідна робота Назва роботи Створення установки для дослідження нових функціональних наноматеріалів Керівник роботи Васін Андрій Володимирович, Дата реєстрації 29-08-2018 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова Національної академії наук України Опис роботи Створення експериментального лабораторного технологічного обладнання для осадження тонких плівок методом магнетронного розпилення в режимі несбалансованого магнітного поля на базі вакуумного поста ВУП-5М Додано в НРАТ 2024-12-10 Закрити