Знайдено документів: 1
Керівник: Моісеєнко Володимир Євгенович. Розробка технології чищення вакуумних поверхонь плазмою високочастотного розряду в комбінації з розрядом постійного струму..
Національний науковий центр "Харківський фізико-технічний інститут" НАН України. № 0119U101273
Знайдено документів: 1
Оновлено: 2026-03-16
