Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 0120U104287, ( 0221U104794  ) Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка та виготовлення автоматизованої системи позиціонування зразків, механізму розбалансування магнітного поля магнетрону та оптимізація пристроїв керування процесом вакуумного осадження під задачі нанотехнологій та мікроелектроніки. 1 етап. Розробка конструкторської документації, виготовлення деталей та монтаж вузлів керування процесом осадження. Керівник роботи Васін Андрій Володимирович, Доктор фізико-математичних наук Дата реєстрації 16-10-2020 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України Опис роботи Метою першого етапу є розроблення конструкторської документації, виготовлення деталей та монтаж вузлів керування процесом осадження. Додано в НРАТ 2024-12-10 Закрити
НДДКР РК
Розробка та виготовлення автоматизованої системи позиціонування зразків, механізму розбалансування магнітного поля магнетрону та оптимізація пристроїв керування процесом вакуумного осадження під задачі нанотехнологій та мікроелектроніки. 1 етап. Розробка конструкторської документації, виготовлення деталей та монтаж вузлів керування процесом осадження.
Керівник: Васін Андрій Володимирович. Розробка та виготовлення автоматизованої системи позиціонування зразків, механізму розбалансування магнітного поля магнетрону та оптимізація пристроїв керування процесом вакуумного осадження під задачі нанотехнологій та мікроелектроніки. 1 етап. Розробка конструкторської документації, виготовлення деталей та монтаж вузлів керування процесом осадження.. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України. № 0120U104287
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-21


Роздрукувати цю сторінку