Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 0122U000571, ( 0222U002946  ) Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка та виготовлення автоматизованої системи позиціонування зразків, механізму розбалансування магнітного поля магнетрону та оптимізація пристроїв керування процесом вакуумного осадження під задачі нанотехнологій та мікроелектроніки Етап 2: «Виготовлення механізму переміщення розбалансуючого магніту та розробка конструкторської документації на скануючий тримач зразків» Керівник роботи Васін Андрій Володимирович, д.ф.-м.н. Дата реєстрації 24-01-2022 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників імені В. Є. Лашкарьова Національної академії наук України Опис роботи Виготовити та встановити на ВУП-5 в Інституті фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАНУ механізм автоматичного вертикального переміщення розбалансуючого магніту магнетрона. Розробити загальну концепцію та конструкторську документацію на тримач зразків (столик) з механізмом його керованого переміщення по напряму та швидкості по двом координатам в горизонтальній площині. Додано в НРАТ 2024-12-09 Закрити
НДДКР РК
Розробка та виготовлення автоматизованої системи позиціонування зразків, механізму розбалансування магнітного поля магнетрону та оптимізація пристроїв керування процесом вакуумного осадження під задачі нанотехнологій та мікроелектроніки Етап 2: «Виготовлення механізму переміщення розбалансуючого магніту та розробка конструкторської документації на скануючий тримач зразків»
Керівник: Васін Андрій Володимирович. Розробка та виготовлення автоматизованої системи позиціонування зразків, механізму розбалансування магнітного поля магнетрону та оптимізація пристроїв керування процесом вакуумного осадження під задачі нанотехнологій та мікроелектроніки Етап 2: «Виготовлення механізму переміщення розбалансуючого магніту та розробка конструкторської документації на скануючий тримач зразків». Інститут фізики напівпровідників імені В. Є. Лашкарьова Національної академії наук України. № 0122U000571
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-15


Роздрукувати цю сторінку