Реєстраційний номер
0124U003756,
(
0224U032996
0225U004320
)
Науково-дослідна робота
Назва роботи
Деформаційна інженерія електронної структури тонких плівок GeSn для ІЧ оптоелектроніки нового покоління
Керівник роботи
Юхимчук Володимир Олександрович, д.ф.-м.н.
Дата реєстрації
02-09-2024
Організація виконавець
Інститут фізики напівпровідників імені В. Є. Лашкарьова Національної академії наук України
Опис роботи
Розробка фізико-технологічних засад деформаційної інженерії тонких GeSn плівок для оптоелектроніки ближнього та середнього ІЧ діапазону, а саме, створення робочих фізичних моделей зміни фундаментальних властивостей германієвих плівок за рахунок одночасного інкорпорування в їх гратку атомів Sn та C або бору в процесі магнетронного розпилення відповідних мішеней та під дією іонної імплантації іонів Sn та C (B) в Ge та в GeSn плівки та післяростових термічних обробок
Додано/оновлено в НРАТ
2024-12-09
