Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0126U001037, Науково-дослідна робота Назва роботи Фізичні засади удосконалення синтезу наноструктурованих об’єктів з використанням магнетронного розряду та вакуумно-дугової технології Керівник роботи Денисенко Ігор Борисович, д.ф.-м.н. Дата реєстрації 30-01-2026 Організація виконавець Харківський національний університет імені В. Н. Каразіна Опис роботи Метою проєкту є створення нових фізичних засад технологічної плазми магнетронних та вакуумно-дугових розрядів для удосконалення процесів синтезу наноструктурованих об’єктів, придатних для застосування у різних галузях. Для досягнення цієї мети планується виконати наступні основні завдання: - модифікувати магнетронну розпилювальну систему шляхом організації несамостійного тліючого розряду в об’ємі камери для підвищення ступеню іонізації випаровуваної речовини; - створити діагностичний комплекс для дослідження параметрів плазми, забезпечити автоматизацію вимірювань; - експериментально визначити вплив параметрів плазми магнетронного розряду та енергії іонів на підкладку на фазовий склад та морфологію осаджуваних покриттів на основі W, Ta, Ti та Cr; - на основі отриманих експериментальних і теоретичних результатів визначити оптимальні умови синтезу наноструктурованих покриттів з наперед заданими функціональними характеристиками; - здійснити осадження цих покриттів вакуумно-дуговим методом з контрольованими енергетичними параметрами плазми; - провести комплексний структурно-фазовий аналіз одержаних покриттів методами XRD, SEM, TEM та EDS, дослідити морфологію і наноструктуру багатошарових та багатокомпонентних архітектур, а також визначити їх експлуатаційні характеристики; - сформулювати пропозиції щодо коригування технологічного процесу осадження покриттів для оптимізації структурно-фазового стану покриття для конкретних експлуатаційних умов; - розробити теоретичні та числові моделі магнетронного розряду, враховуючи нагрівання робочого газу у зіткненнях частинок розряду, просторову неоднорідність плазми, а також немаксвелівський характер функції розподілу електронів за енергією; - провести за допомогою цих моделей аналіз магнетронного розряду та процесів на підкладках в експериментах і надати рекомендації щодо вибору оптимальних зовнішніх умов для формування нанооб’єктів. Додано в НРАТ 2026-01-30 Закрити