Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 0200U001284, 0195U010990 , Науково-дослідна робота Назва роботи Дослідження меж поділу фаз гетерогенних структур на основі сполук А3В5 та їх модифікації під дією електромагнітного (зокрема надвисокочастотного) випромінювання Назва етапу роботи Керівник роботи Свєчніков С.В., Дата реєстрації 18-05-2000 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників Опис етапу У роботі досліджено механізми модифікації приповерхневих шарів напівпровідників А3В5 і приладових структур на їхній основі при дії на них наносекундного лазерного та потужного НВЧ випромінювання. Запропоновано фізичні моделі перебудови дефектної структури в досліджувальних об'єктах. Показано перспективність використання лазерного та короткохвильового електромагнітного випромінювання при розв'язуванні технологічних проблем мікроелектроніки. Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-03 Закрити
НДДКР ОК
Керівник: Свєчніков С.В.. Дослідження меж поділу фаз гетерогенних структур на основі сполук А3В5 та їх модифікації під дією електромагнітного (зокрема надвисокочастотного) випромінювання. (Етап: ). Інститут фізики напівпровідників. № 0200U001284
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-16