Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0200U001957, 0197U004860 , Науково-дослідна робота Назва роботи Дослідження умов формування електричних розрядів в комбінованих полях та процесів взаємодії плазми з поверхнею твердого тіла Назва етапу роботи Керівник роботи Фареник Володимир Іванович, Дата реєстрації 19-04-2000 Організація виконавець Науковий фiзико-технологiчний центр Міністерства освiти i науки та НАН України Опис етапу Об'єктом дослідження є групи стаціонарних слабострумових газових розрядів у комбінованих електромагнітних полях: ВЧ-ємнісний, ВЧ-індукційний, розряд Пенінга, ВЧЄ-розряд з постійним електричним полем. Мета - дослідження процесів взаємодії хімічно активної плазми з поверхнею твердого тіла. В роботі досліджено вплив ступеня іонізації плазми, енергетичного складу іоного компоненту потоку, що осаджується та дози опромінення поверхні на структуру та властивості покрить та поверхні. Описана експериментальна установка, що дозволить роздільно та ефективно керувати швидкістю випаровування матеріалу катоду і мірою іонізації пари. Проведені дослідження характеристик одержаної плазми. Вивчені умови запалення дугового розряду в парах матеріалу катоду, виміряні температура та щільність електронів плазми розряду, визначені енергія і зарядовий склад іонного компоненту потоку, що осаджується в залежності від параметрів дугового розряду та електронного пучка. Програмно реалізована універсальна математична модель. Прове дена експериментальна перевірка даної моделі. Розроблено рекомендації по застосуванню отриманих результатів. Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-03 Закрити