Реєстраційний номер
0200U003139,
0198U002349
, Науково-дослідна робота
Назва роботи
Розробка напівпровідникових сенсорів фізичних величин на основі структур кремній-на-ізоляторі та мікрокристалів кремнію і германію
Назва етапу роботи
Керівник роботи
Дружинін А.О.,
Дата реєстрації
17-03-2000
Організація виконавець
Державний університет "Львівська політехніка"
Опис етапу
Проведено дослідження впливу деформації, температури, магнітного поля, опромінення (лазерного та електронного) на властивості шарів полікремнію-на-ізоляторі та мікрокристалів (МК) кремнію та германію. Розроблено високочутливі сенсори великих деформацій, високотемпературні високочастотні сенсори тиску, температурно стабільні сенсори тиску на основі КНІ-структур, сенсори для медичної діагностики та ін. Показано можливість створення сенсорів на основі (МК) Si i Ge для роботи при кріогенних температурах в сильних магнітних полях та сенсорів теплових величин на основі ефекту Зеєбека.
Опис продукції
Автори роботи
Додано/оновлено в НРАТ
2020-04-03
