Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0200U003575, 0197U016507 , Науково-дослідна робота Назва роботи Дослідження процесів формування потоків заряджених частинок в іонно-плазмових системах з комбінованими ЕН полями Назва етапу роботи Керівник роботи Фареник В., Дата реєстрації 08-06-2000 Організація виконавець Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна Опис етапу Досліджені ВЧ індукційний розряд і ВЧ ємнісний розряд в несиметричному плазмовому конденсаторі при низькому тиску газу. Були розроблені та виготовлені джерела іонів з діаметром пучка 50-300 мм, енергією 0,05-5 кеВ, призначених для тривалої промислової експлуатації з хімічно активними газами. Створена низькоенергетична плазмова система на основі пучково-плазмового розряду. Досліджені її розрядні характеристики та енергетичні спектри електронних та іонних потоків. Запропоновано новий метод термоіонного осадження простих та синтезованих покриттів на основі пучково-плазмового розряду з розжареним катодом. Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-03 Закрити