Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0200U004246, 0197U017350 , Науково-дослідна робота Назва роботи Дослідження процесів легування аморфних вуглецевих плівок з метою стабілізації алмазоподібних структур Назва етапу роботи Керівник роботи Онопрієнко Олексій Олексійович, Дата реєстрації 08-06-2000 Організація виконавець Інститут проблем матеріалознавства ім.І.М.Францевича Опис етапу Бомбардування іонами вуглецевої плівки в процесі її конденсації сприяє зменшенню розмірів графітоподыбних кластерів, які утворюють плівку, та впорядкуванню в розміщенні атомів в кластерах. Легування кремнієм призводить до збереження ізотропії електроопору плівок до 573 К та їх аморфної структури при наступному відпалі до 1273 К. Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-03 Закрити