Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0200U004480, 0100U003599 , Науково-дослідна робота Назва роботи РОЗРОБКА НАУКОВИХ ЗАСАД ТА ДОСЛІДЖЕННЯ НАДПРОДУКТИВНОЇ ТЕХНОЛОГІЇ РОЗДІЛЕННЯ НАПІВПРОВІДНИКОВИХ ПЛАСТИН НА ОКРЕМІ ЕЛЕМЕНТИ Назва етапу роботи Керівник роботи Коваленко В.С., Дата реєстрації 19-07-2000 Організація виконавець Національний технічний університет України "Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського" Опис етапу У роботі розроблена оригінальна методика визначення температурних залежностей оптичних властивостей матеріалів, що заснована на застосуванні засобів нелінійного програмування, причому в якості функції цілі використовували min квадрату різниці між розрахованою потужністю і потужністю пучку лазерного випромінювання, що пройшла наскрізь зразок та була виміряна приймачем у відповідний момент часу з одночасною фіксацією потужності пучку випромінювання що, надійшла до деталі, що оброблюється, і відбитої від неї. Причому, у якості рівняння зв'язку використовували нелінійне, нестаціонарне, з урахуванням фазових перетворень, одномірне рівняння теплопровідності, що розв'язувалось методом прогонки. За допомогою розробленої методики в роботі визначені залежності коефіцієнтів відбивання і поглинання моно і полікристалічного кремнію від температури (довжина хвилі випромінювання - 1.06мкм). Крім того, установлено, що при високих густинах енергії сфокусованого лазерного випромінювання, відбувається нівелювання впливу оптичних властивостей полі і монокристалів на результат нагрівання. Методами планування експериментів отримані моделі процесу різання полікристалічного кремнію (товщина 0.3-0.5мм) сфокусованим скануючим лазерним променем. Встановлені методами нелінійного програмування оптимальні режими обробки дозволяють здійснювати різання полі і монокристалів зі швидкістю 25мм/с із мінімальною шорсткістю поверхні. Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-03 Закрити