Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0201U001156, 0100U003970 , Науково-дослідна робота Назва роботи Дослідження та розробка ресурсозберігаючих технологій синтезу складних силіцидів титану, вольфраму для отримання тонких шарів з підвищеними механічними властивостями Назва етапу роботи Керівник роботи Сидоренко С.І., Доктор фізико-математичних наук Дата реєстрації 19-01-2001 Організація виконавець Національний технічний університет України "Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського" Опис етапу Досліджено механізм синтезу плівок складних силіцидів титану, вольфраму підвищеної якості на базі використання ефективного способу термічної обробки - імпульсного фотонного відпалу. Визначено механічні властивості складних силіцидів титану, вольфраму. Показано, що застосування плівок складних силіцидів титану, вольфраму з підвищеними механічними властивостями дозволять вирішити проблему "щільного упакування" в мікроелектронних приладах. Показано, що у порівнянні з існуючим технічним рівнем, розробка прискореного отримання складних силіцидів титану, вольфраму дозволить знизити енерговитрати на їх виробництво за рахунок синтезу, в умовах зниженого температурно-часового інтервалу, одержання кристалічних плівок складних силіцидів титану, вольфраму, а також покращити електро-фізичні властивості силіцидних плівок. Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити