Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0201U003323, 0198U002608 , Науково-дослідна робота Назва роботи Дослідження впливу дії атомарного водню на приповерхневі об'єми кристалів напівпровідників і напівпровідникових гетероструктур Назва етапу роботи Керівник роботи Шаповалов Віталій Павлович, Дата реєстрації 15-02-2001 Організація виконавець Запорізький державний технічний університет Опис етапу Встановлено процеси і фізичні механізми взаємодії атомів водню з поверхневими і об'ємними дефектами і домішками в плані нейтралізації їх електричної активності та стимулювання процесів дифузії домішок при температурах, близьких до кімнатної. Об'єктом дослідження є кристали моноатомних напівпровідників (кремній, германій) і напівпровідникові структури на їх основі з р-n-переходами и діоксидом кремнію. Мета роботи - дослідження процесів, що відбуваються на поверхні і в приповерхневих шарах напівпровідникових матеріалів і структур під дією атомарного водню. При проведенні робіт використовувались стандартні прилади і установки контролю електрофізичних параметрів напівпровідникових матеріалів і структур. Галузь застосування - електроніка і приладобудування. Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити