Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0201U003759, 0100U003301 , Науково-дослідна робота Назва роботи Дослідження умов формування потоків заряджених частинок низьких та середніх енергій, методів керування їх параметрами та взаємодії синтезованих потоків з поверхнями твердих тіл Назва етапу роботи Керівник роботи Фареник В.І., Дата реєстрації 24-04-2001 Організація виконавець Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна Опис етапу Об'єкт дослідження — газові розряди у постійному та ВЧ-електричному комбінованих полях; низькоенергетичні іонні та електронні потоки, що можуть використовуватися у вакуумно-плазмових технологіях осадження простих та синтезованих покриттів; поверхня твердого тіла під дією низькоенергетичних іонних потоків. Мета роботи — дослідження процесів генерації заряджених частинок у комбінованому магнетронному — ВЧ-індукційному розряді, методів керування потоками заряджених та нейтральних частинок в умовах роздільної зони генерації плазми і формування потоків та процесів зародження і зростання трьохвимірових тонкоплівкових структур при взаємодії синтезованих потоків з поверхнею твердого тіла. Методи дослідження: експериментальні дослідження розрядних характеристик плазмових систем, параметрів плазми та енергетичних спектрів іонних та електронних потоків. У результаті виконання першого етапу роботи була створена фізична модель розпилювальної системи на базі комбінованого магнетронного — ВЧ індукційного розряду, що дозволяє зменшити робочий тиск у зоні обробки. Крім того, використання магнітного поля планарного магнетрона дозволило знизити у 2 ... 2,5 рази необхідну величину напруги ВЧ-поля завдяки використанню відомого ефекту електронно-циклотронного резонансу, що значно спрощує конструкцію технічного пристрою. Запропоновано простий метод формування низькоенергетичних іонних потоків в умовах низького тиску в зоні обробки за рахунок розділення зони генерації та зони формування потоку вакуумним опором. Наведені теоретичні розрахунки геометрії вакуумного опору. Встановлено, що при збільшенні швидкості відкачки з'явилася можливість значно зменшити робочий тиск. При цьому, щільність іонного струму підтримувалась на рівні 20 мА/см2. Знайдено явище зростання конусоподібних новоутворень. Запропоновано механізм, що пояснює зародкоутворення та зростання таких утворень за рахунок процесів, що відбуваються поблизу новоутворень та у прикатодній області розряду. Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити