Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 0201U004774, 0197U019544 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка плазмохімічного реактора для нанесення тонких плівок і покриття. Назва етапу роботи Керівник роботи Сажнко Володимир Антонович, Дата реєстрації 19-04-2001 Організація виконавець Науковий центр "Інститут ядерних досліджень" НАН України Опис етапу Створено новий тип плазмохімічного реактора з електродом, що однорідно випаровується в атмосфері розрідженого газу, з метою нанесення тонких плівок і покриття сполук твердих речовин з газами. Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити
НДДКР ОК
Розробка плазмохімічного реактора для нанесення тонких плівок і покриття.
Керівник: Сажнко Володимир Антонович. Розробка плазмохімічного реактора для нанесення тонких плівок і покриття.. (Етап: ). Науковий центр "Інститут ядерних досліджень" НАН України. № 0201U004774
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-17


Роздрукувати цю сторінку