Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0201U004779, 0199U001572 , Науково-дослідна робота Назва роботи Фізико-хімічні основи контрольованої модифікації властивостей поверхневих шарів твердих тіл під впливом теплових та прискорених атомних частинок. Назва етапу роботи Керівник роботи Швець Ю.О., Дата реєстрації 19-04-2001 Організація виконавець Запорізький державний університет Опис етапу Розроблена і створена експериментальна установка для вивчення змін складу газової фази гетерогенних систем під впливом атомарних часток теплових енергій. Для прогнозування змін хімічного складу поверхні твердих тіл під впливом атомарних часток запропоновано використовувати константний метод і метод мінімілізації термодинамічного потенціалу. За допомогою напівемпіричного методу MNDO змодельовано вакансійний дефект на поверхні Si (100) та його взаємодія з атомами водню. Область застосування - фізика атомарно-чистих поверхонь, технологія мікроелектронних напівпровідникових приладів, каталіз, кінетика гетерогенних хімічних реакцій. Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити