Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0201U005416, 0101U004256 , Науково-дослідна робота Назва роботи Формування структури і властивості нанокристалічних неорганічних тонких плівок Назва етапу роботи Керівник роботи Фекешгазі Іштван Вінцейович, Дата реєстрації 04-07-2001 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України Опис етапу Об'єкт дослідження - оксидні плівки SiOx та Al2O3 з нанокристаликами Si, Ge та Al. Мета проекту - розвиток технологій виготовлення нанокристалічних кремнієвих мікроструктур в плівках діоксиду кремнію та багатошарових інтерференційних структур на їх основі методами термічного та електронно-променевого випаровування, дослідження формування структури нанокристалічних кремнієвих мікроструктур в плівках діоксиду кремнію при різних технологічних умовах їх виготовлення; а також структурні, люмінесцентні та КР дослідження квантово-розмірних нанокристалічних кремнієвих структур з метою вдосконалення технологій їх виготовлення для використання в оптоелектронних приладах. Метод дослідження - статистичний аналіз технологічних умов отримання наноструктурованних систем, їх структурних, фотолюмінесцентних та КР характеристик. Різними технологічними методами виготовлені дво- та трьохкомпонентні плівки і системи. Леговані Ge, Si чи Al плівки SiOx отримані шляхом одночасного осадження SiOx та Si і Al із заданою швидкіст ю, а Ge з варіюючою швидкістю осадження, а також шляхом імплантації іонів Ge чи Si в шари SiOx. Плівки системи Si/Sio2 також отримані шляхом термічної трансформації SiOx. Структурні, люмінесцентні та спектроскопічні КР дослідження таких зразків показали, що у всіх випадках свіжеосаджені шари характеризуються рівномірним розподілом домішок атомів Ge, Si чи Al в аморфних діелектричних матрицях, котрі після відпалу при температурах 300-1100 С у вакуумі або атмосфері азоту спочатку групуються в хаотично розміщені кластери, а потім - в нанокристали розмірами 3-10 нм. Виявлені відповідні їм зміни в спектрах КР світла та в прикрайовій області власного поглинання. Спектри фотолюмінесценції характеризуються суттєвою часово-температурною залежністю з набуттям стабілізації при високих температурах відпалу. Проте інтенсивність свічення систем незначна для рекомендації до широкого практичного застосування. Результати НДР опубліковані в 6 статтях та представлені на 2 міжнародних конференціях. Прогнозовані припущення щодо розвитку об'єкта дослідження - пошук оптимальної технології виготовлення оксидних плівок з нанокристалічними угруповуваннями. Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити