Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0201U008277, 0100U000728 , Науково-дослідна робота Назва роботи Моделювання та дослідження вакумно-плазмових та електронно-променевих процесів отримання електронних матеріалів для роботи а агресивних середовищах та силиних електричних полях Назва етапу роботи Керівник роботи Денбровецький Станіслав Володимирович, Дата реєстрації 02-01-2002 Організація виконавець Національний технічний Університет України "Київський політехнічний інститут",фак. електроніки Опис етапу В роботі проведені дослідження та моделювання вакуумно-плазмових процесів, зокрема транспортування електронного променя з плазми високовольтного тліючого розряду до поверхні випаровування електронно-променевого випаровування технологічного газу, генерація активних часток, необхідних для синтезу та осадження покриттів Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити