Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0202U000444, 0100U004406 , Науково-дослідна робота Назва роботи Дослідження та розробка перспективних зразків вакумно-плазмового обладнання для отримання тонких плівок Назва етапу роботи Керівник роботи Сагалович Владислав вікторович, Дата реєстрації 07-02-2002 Організація виконавець Науковий фiзико-технологiчний центр Міністерства освiти i науки та НАН України Опис етапу Вивчені особливості фізичних процесів, що викликають стрибки інтенсивності розряду при зміні енергоскладу в нього. В ході виконання теми були проведені експериментальні дослідження електричного імпульсу ВЧ ємнісного розряду. Показано, що в комплексному електричному опорі розряду переважає ємнісна складова, а власна плазма Ср відіграє головну роль зворотому впливу розряду на узгоджуючий резонансний контур. Розроблені шляхи уникнення нестабільності ВЧ ємнісного розряду при експлуатації промислових установок ПХВ ВЧ діодного типу. Розроблено методи формування різних композиційних матеріалів типу"основа-покриття" шляхом вибору сполук в залежності від конткретних умов їхньої експлуатації й інших вимог. При цьому покриття можуть бути однокомпонентні, багатокомпонентні чи багатошарові, наприклад, "графіт-вольфрам-нітрид бора" Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити