Реєстраційний номер
0203U000097,
0198U000730
, Науково-дослідна робота
Назва роботи
Установка йонно-променевого легування
Назва етапу роботи
Керівник роботи
Венгер Є. Ф.,
Дата реєстрації
15-01-2003
Організація виконавець
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України
Опис етапу
Проведено проектування та виготовлення імплульсного лазерного йонного джерела, високовакуумної камери з системою шлюзування зразків, прискорювача йонів до енергії 1 - 50 кеВ. Проведено монтаж йонно-променевого прискорювача з сепарацією йонів в діапазоні мас 1 - 600. Розроблено комп'ютерну програму для аналізу результатів еліпсометричних досліджень структур, побудованих з кластерів. Досліджено мас-спектри при розпиленні фулеренових плівок, порошків та масивних зразків. Показано, що в процесі розпилення високомолекулярні кластери руйнуються, а в мас-спектрі присутні сигнали для кластерів з масою < 320
Опис продукції
Автори роботи
Додано/оновлено в НРАТ
2020-04-03
