Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0203U000097, 0198U000730 , Науково-дослідна робота Назва роботи Установка йонно-променевого легування Назва етапу роботи Керівник роботи Венгер Є. Ф., Дата реєстрації 15-01-2003 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України Опис етапу Проведено проектування та виготовлення імплульсного лазерного йонного джерела, високовакуумної камери з системою шлюзування зразків, прискорювача йонів до енергії 1 - 50 кеВ. Проведено монтаж йонно-променевого прискорювача з сепарацією йонів в діапазоні мас 1 - 600. Розроблено комп'ютерну програму для аналізу результатів еліпсометричних досліджень структур, побудованих з кластерів. Досліджено мас-спектри при розпиленні фулеренових плівок, порошків та масивних зразків. Показано, що в процесі розпилення високомолекулярні кластери руйнуються, а в мас-спектрі присутні сигнали для кластерів з масою < 320 Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити