Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0203U006149, 0100U006123 , Науково-дослідна робота Назва роботи Створення шарів кремнію шляхом мікрозонної лазерної рекристалізації (МЛР) та дослідження їх характеристик Назва етапу роботи Керівник роботи Дружинін Анатолій Олександрович, Дата реєстрації 14-03-2003 Організація виконавець Національний університет "Львівська політехніка" Опис етапу Проведено дослідження впливу режимів мікрозонної лазерної рекристалізації шарів полікремнію-на-ізоляторі на морфологію та мікроскопічну структуру зразків. Проведено оптимізацію режимів лазерної обробки. Дослiджено температурнi залежності характеристик експериментальних структур з полі-Si резисторами на ізолюючих підкладках в дiапазонi температур 4,2...300 К. Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити