Реєстраційний номер
0203U008345,
0199U004189
, Науково-дослідна робота
Назва роботи
Розробка фізико-технологічної основи наноструктурної модифікації плівок для електроніки і оптики при імпульсно-періодичному осадженні з активованих компонентів лазерної плазми.
Назва етапу роботи
Керівник роботи
Опачко І.І.,Лукша О.В.,
Дата реєстрації
07-11-2003
Організація виконавець
Ужгородський національний університет
Опис етапу
Виявлено комплекс факторів,що визначаютьспецифіку методу імпульсного лазерного напилення (ІЛН) у застосуванні до проблеми прогнозованого одержання аморфних і композиційних плівок халькогенідних систем з модифікуванням їх структурних і наноструктурних характеристик.
Опис продукції
Автори роботи
Додано/оновлено в НРАТ
2020-04-03