Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0204U000008, 0103U002208 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка могутніх імпульсних систем і отримання товстошарових покриттів Назва етапу роботи Керівник роботи Якименко Юрій Іванович, Дата реєстрації 08-01-2004 Організація виконавець Науково-дослідний інститут прикладної електроніки Національного технічного університету України "Київський політехнічний інститут" Опис етапу Проаналізовано фізико-технологічні та апаратурні підходи до реалізації іонної технології отримання товстошарових покриттів і вибрано найбільш придатні форми надпотужного імпульсного магнетронного розряду низького тиску з великою щільністю струму і з високим ступенем іонізації розпилених атомів. Показано, що для отримання товстошарових покриттів найбільш доцільно застосувати імпульсні магнетронні системи, в яких кілька мішеней оточують підкладку, а магнітне поле має замкнуту конфігурацію. Сконструйовано технологічний пристрій для виконання досліджень, розроблено структурну і вакуумну схеми, конструкцію магнетронного розпилювального вузла, а також схеми двох варіантів імпульсного джерела (модулятора) для живлення надпотужних розрядів. Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити