Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0204U000594, 0101U004304 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка та виготовлення приладу для контролю за часткою реактивного газу в вакуумній установці реактивного магнетронного розпилення. Назва етапу роботи Керівник роботи Птушинський Ю.Г., Дата реєстрації 13-02-2004 Організація виконавець Інститут фізики НАН України Опис етапу Розроблено та виготовлено експериментальний зразок приладу для контролю за часткою реактивного газу (кисень і азот) та розппилених іонів металу (алюміній і титан) в вакуумній установці реактивного магнетронного розпилення. Робота приладу базується на вимірюванні інтенсивності власного випромінювання іонів, що контролюються, у вузьких спектральних діапазонах. Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити