Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0204U006400, 0104U008864 , Науково-дослідна робота Назва роботи Електронні емісійні властивості алмазоподібних вуглецевих плівок і С-нанотрубок Назва етапу роботи Керівник роботи 1.Литовченко Володимир Григорович, Дата реєстрації 20-10-2004 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України Опис етапу Мета проекту: Отримання та дослідження електронних емісійних властивостей алмазоподібних вуглецевих плівок і С-нанотрубок для застосування в приладах вакуумної нано- та мікроелектроніки і плоско панельних дисплеях. В результаті виконання проекту розроблені технології формування і конструкції польових емітерів та польових емісійних матриць на основі пористого кремнію, кремнієвих вістрів різного типу з осадженими алмазоподібними вуглецевими (АПВ) плівками. Досліджено вплив технологічних режимів формування емісійних вістрів і вістрійних матриць та їх покриття АПВ плівками на емісійні властивості. Встановлені основні закономірності електронної польової емісії з шарів пористого кремнію, з кремнієвих вістрів та пористого кремнію покритих тонкими АПВ плівками. Показано, що нанесення тонкої АПВ плівки дає змогу значно покращити емісійні параметри катодів- ефективність та стабільність. Визначений технологічний режим отримання мінімальних величин роботи виходу (по співвідношенню алмазободібної sp3 та графітоподібної sp2 фаз). Встановлений режим значного покращення стабільності польової емісії, що полягає у формуванні в оптимізованому режимі N-легованих алмазоподібних вуглецевих плівок товщиною "50 ± 20 нм. Виявлений та проаналізований новий квантово-механічний ефект - резонансне тунелювання при польовій емісії, що реалізується при покритті кремнієвих та GaAs вістрів надтонкими (8-10нм) нанорозмірними алмазоподібними вуглецевими плівками. Явище резонансного тунелювання з багатошарових катодів є базою для створення структур для генерації високочастотних коливань електронних потоків. Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити