Реєстраційний номер
0205U004164,
0103U003082
, Науково-дослідна робота
Назва роботи
Дослідження процесів низькотемпературного утворення модифікації та властивостей нанокристалічних плівок на основі карбіду кремнію
Назва етапу роботи
Керівник роботи
Лопін Олександр Володимирович,
Дата реєстрації
03-03-2005
Організація виконавець
Інститут монокристалів НТК "Інститут монокристалів" Національної академії наук України
Опис етапу
Модифіковано метод низькотемпературного іонно-плазмового осадження плівок карбіду кремнію.Розроблено: методику вимірювання спектрів відбиття плівок карбіду кремнію, методику розділення скадного спектру поглинання на індивідуальні складові, а також спосіб розділення складних дифракційних рефлексів при обробці електронограм. Вивчені оптичні властивості плівок SiC у УФ та видимому діапазонах . Вивчені дифракційні властивості плівок. Показано,що спектри поглинання плівок SiC описуються законами Урбаху та Тауцу. Отримані відтворювачі плівок з необхідними параметрами.
Опис продукції
Автори роботи
Додано/оновлено в НРАТ
2020-04-03
