Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0206U000152, 0104U000132 , Науково-дослідна робота Назва роботи Математична модель та технологія об'ємних п'єзоелектричних фільтрових елементів для монолітних МЕМС-структур. Назва етапу роботи Керівник роботи Жуйков Валерій Якович, Дата реєстрації 16-01-2006 Організація виконавець Науково-дослідний інститут прикладної електроніки Національного технічного університету України "КПІ" Опис етапу Робота пpисвячена pозpобцi структур сегнетокераміка-напівпровідник (ССП) як функціонального фотоприймального елементу резонансного типу для визначення положення оптичного променя в складних умовах. В роботі отримані такі сновні наукові та прикладні результати: - вперше запропоновано математичну модель роботи резонансних датчиків положення світлового променя на основі структури сегнетокераміка-напівпровідник, яка дає можливість по заданій величині робочого поля, товщині підкладки і фотопровідного шару розрахувати робочі частоти датчика, одержати форму розподілу потенціалу на поверхні підкладки (розрахувати форму вихідної характеристики) і визначити навантажувальну здатність; - запропонована нова електрична схема заміщення, яка дозволяє одержати електричні крайові умови при аналітичному дослідженні механічних коливань у структурах п'єзоелектрик-напівпровідник; - розроблені принципи побудови резонансних елементів на основі ССП; - відпрацювані вимоги до сегнетокерамічних підкладок, напівпровідникових плівок і електродів у структурах сегнетокераміка-напівпровідник; - розроблено та досліджено технологічні основи виготовлення пристроїв на базі сендвіч структури напівпровідниковий шар на сегнетокерамічній підкладці на основі метода розкладання хелатних металорганічних сполук, що забезпечує достатню чистоту матеріалу та його структуру і дозволяє створити високоефективні функціональні гібридні пристрої мінімальних розмірів та з низькою собівартістю; - експериментально перевірена ефективність збудження резонансних коливань першої, другої та третьої моди в ССП; - розроблені електричні схеми збудження коливань з ланками компенсації; - запропоновані співвідношення для інженерних розрахунків параметрів та характеристик елементів на основі ССП. Отримані результати дають можливість створити новий клас елементів ССП на основі поєднання об'ємних електромеханічних коливань в п'єзокерамічному матеріалі з властивостями фоточутливих шарів напівпровідникових матеріалів. Відпрацьовані при виконанні проекту способи та технологіїможуть бути ефективно використані для створення нових приладів, перетворювачів та сенсорів на основі функціональних матеріалів в електронних системах та пристроях. Практичні розробки елементів ССП мають перспективну використання при створенні пристроїв мікроелектромеханічних систем (МЕМС), які на сьогодні є найбільш актуальним напрямком у світі для подальшого розвитку мікроелектронного приладобудування. Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити