Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0206U000202, 0104U003029 , Науково-дослідна робота Назва роботи Наукові основи підвищення точності вимірювання параметрів електронно - променевих технологій отримання надчистого напівпровідникового кремнію Назва етапу роботи Керівник роботи Порєв Володимир Андрійович, Дата реєстрації 17-01-2006 Організація виконавець Науково-дослідний інститут прикладної електроніки Національного технічного університету України "КПІ" Опис етапу Створена математична модель формування поля яскравості зони розплаву при наявності перевідбиття випромінювання, на базі якої розроблені методи підвищення точності вимірювання температури та висоти зони розплаву. Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити