Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0206U002678, 0103U001537 , Науково-дослідна робота Назва роботи Дослідження взаємодифузії та хімічних реакцій у багатошарових плівкових композиціях при відпалі та опроміненні Назва етапу роботи Керівник роботи Кондратенко Валерій Володимирович, Дата реєстрації 17-02-2006 Організація виконавець Національний технічний університет "Харківський політехнічний інститут" Опис етапу Досліджені закономірності росту багатошарових плывкоих композицый (БПК) Mo/Si при подачі потенціалу зміщення (ПЗ) (до -300 В) на підкладку під час виготовлення. Кристалічна поверхня Мо є джерелом міжфазних шорсткостей, які за відсутності ПЗ розвиваються від підкладки до поверхні БПК. ПЗ, прикладений під час осадження кремнію, призводить до згладжування шорсткостей і покращення шаруватої морфології. Значне зростання аморфної перемішаної зони (АПЗ) на межі Si-на-Mo спостерігається при великому ПЗ (-300 В). Збільшення ПЗ під час осадження шарів Мо веде до розвитку шорсткостей на межі Мо-на-Si і збільшення товщини АПЗ. Досліджені процеси іонно-променевого перемішування в БПК Mo/Si при опромінюванні іонами He+ з енергією 40 кеВ і дозами до 4х10^16 см-2. Встановлено, що інтенсивність перемішування лінійно залежить від дози опромінення, і реалізується балістичний механізм перемішування. Встановлені інтервали слабкої і сильної залежності перемішування від температури. Визначені енергії активації процесів перемішування для цих інтервалів. Вивчена роль вуглецевих бар'єрів в ослабленні перемішування як при термічній, так і при іонно-променевій дії. Вивчені характерні структурні зміни в БПК Sc/Si, опромінених імпульсним рентгенівським когерентним випромінюванням (l=46,9 нм) з припороговими флюенсами 0,06-0,23 Дж/см2. Плавлення поверхневих шарів є основним механізмом деградації БПК. Дифузійне перемішування шарів змінює структуру шарів в зоні теплової дії, товщина якої складає 0,05-0,10 mм або 2-4 періоди БПК Sc/Si. Середній поріг пошкодження складає ~0,08 Дж/см2. Показано, що тепловиділення під час силіцидоутворення і низька теплопровідность БПК приблизно на порядок знижують поріг їх деградації. Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити