Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0207U000159, 0104U008842 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка технології нанолітографії та створення нанорозмірних систем запису та зчитування інформації Назва етапу роботи Керівник роботи Москаленко Михайло Андрійович, Дата реєстрації 11-01-2007 Організація виконавець Закрите акціонерне товариство "Науково-виробничий концерн "Наука" Опис етапу Виконано аналіз сучасного стану технологічного рівня напилюючого обладнання і показано, що ведучим для комплексного розв'язання завдань формування надтонких провідних і діелектричних плівок і покриттів в деяких галузях нанотехнології є метод імпульсної конденсації електроерозійної плазми. Для реалізації достоїнств методу в нанотехнології розв'язані наступні завдання: оптимізовано умови локальної інжекції плазми в розрядний проміжок з метою підвищення відтворюваності параметрів плівок і збільшення ресурсу роботи генератора плазми; визначено вплив геометрії магнітного поля в області виходу плазмового потоку з генератора для керування параметрами плівки, що осаджується, і можливості використання двох генераторів плазми; мінімізовані втрати плазми в плазмооптичній системі та підвищення рівномірності плівок, що осаджуються. Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити