Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0207U000314, 0104U003422 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка і виготовлення плазмового пристрою з замкненим дрейфом електронів для очищення і модифікації поверхні. Назва етапу роботи Керівник роботи Птушинський Юрій Григорович, Дата реєстрації 22-01-2007 Організація виконавець Інститут фізики НАН України Опис етапу Розроблено конструкторську документацію та виготовлено пристрій, який дозволяє очищувати діелектричну поверхню плазмою без додаткових компенсуючих елементів. Досліджені топологія магнітних полів, вольт-амперні характеристики та просторовий розподіл сили струму, їх залежність від технологічних параметрів процесу очистки. Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити