Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0207U000839, 0104U007699 , Науково-дослідна робота Назва роботи Леговані нанокристалічні SiC тонкі плівки - нові матеріали для оптики та електроніки Назва етапу роботи Керівник роботи Семенов Олександр Володимирович, Дата реєстрації 13-02-2007 Організація виконавець Інститут монокристалів НТК "Інститут монокристалів" Національної академії наук України Опис етапу Були отримані плівки SiC засобом прямого осадження з потоку іонів вуглецю і кремнію з енергіями в діапазоні 30-1500 еВ. Осаджені при темпервтурі підкладок 600 С плівки виявляли структурну і хімічну розупорядкованість. Встановлено, що при збільшенні температури підкладки від 50 до 800 С і при вибірковій енергії потоку іонів, що осаджуються на підкладку, відбувається структурна перебудова від аморфної структури до полікристалічної. При цьому можна одержувати відтворювані плівки. Показано, що при зміні енергії потоку іонів у діапазоні енергій від 50-110 уВ. ( Т=800 С) можна керувати оптичними властивостями SiC плівок (зміна ширини забороненої зони). Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити