Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0207U002764, 0103U007905 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка технології вирощування об"ємних кристалів сапфіра заданого профілю для потреб наноелектроніки Назва етапу роботи Керівник роботи Блецкан Дмитро Іванович, Дата реєстрації 14-02-2007 Організація виконавець Ужгородський національний університет Опис етапу Розроблена технологія промислового вирощу-вання кристалів сапфіра прямокутної форми, яка за-безпечує збільшення виходу годної частини кристала для нарізання пластин орієнтації (0001) до 50 %. За-пропоновано три способи розкрою кристала на цилі-ндричні заготовки, найбільш продуктивним з яких є вирізання за допомогою алмазних трубчатих свердел. Відпрацьовано неруйнівні методи контролю власних та домішкових точкових дефектів у кристалах сапфі-ру та сапфірових підкладках. Методами ЕПР та ядер-но-активаційним встановлено, що при вирощуванні кристалів сапфіру в Mo-W тиглях має місце забруд-нення кристалів молібденом, а тому процес вирощу-вання необхідно проводити у вольфрамових тиглях. Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити